Micro-LED是一种由微米级LED发光像素构成的阵列浮现技巧,具有自觉光、高诀别率、高亮度、高效劳、高对比度、低功耗、高踏实性、长命命等优点,被以为是改换性的新式浮现技巧。对Micro-LEDs发散角、出光标的、偏振等出光特质进行调控,将在3D Micro-LED和AR浮现等有伏击运用。
中南大学汪真金不怕火成磋议中科院半导体商议所、湖南大学团队等连年一直勉力原位集成超名义光场调控Micro-LED器件商议。11月19-21日,其相干后果在苏州举行的第十届海外第三代半导体论坛(IFWS 2024)上报说念:通过键合、CMP等工艺,初次提议并罢了垂直结构F-P谐振腔Mini/Micro-LED器件,光谱半高宽从老例24nm减小到15nm,发光标的性擢升16.4%【Applied Physics Letters 121.20(2022)】;通过原位集成亚波长金属光栅,初次报说念线偏振Micro-LED,TM/TE=6.2倍,等效消光比为14dB,并通过千里积介质膜和反射镜侧壁工程,进一步擢升偏振比【Applied Physics Letters 122.11(2023);Applied Physics Letters 124.11(2024)】;初次提议圆偏振Micro-LED,横电波反射率跳跃80%,消光比达到38 dB以上【Optics Letters 46.11 (2021): 2666-2669】;初次缱绻报说念指向发光Micro-LED,罢了高效劳宽角度范围指向出光,以及纵容角度出光和双角度指向出光【Optics Letters 46.14 (2021): 3476-3479】。
图1:光场调控Micro-LED暗示图(更无数据可查阅对应文件)(a)线偏振Micro-LED;(b)圆偏振Micro-LED;(c)谐振腔Micro-LED;(d)指向发光Micro-LED;